Penderia interferometer empat gelombang FIS4dibangunkan oleh pasukan profesor dari Universiti Zhejiang dan Universiti Teknologi Nanyang, Singapura. Ia mempunyai teknologi paten domestik, menggabungkan pembelauan dan gangguan, merealisasikan gangguan ricih sisi empat gelombang laluan biasa, mempunyai sensitiviti pengesanan super dan rintangan getaran, dan boleh mencapai pengukuran interferometer dinamik berkelajuan tinggi masa nyata tanpa pengasingan getaran; kadar bingkai paparan pengukuran masa nyata mencapai lebih daripada 10 bingkai. Pada masa yang sama, sensor FIS4 mempunyai resolusi fasa ultra tinggi 512×512 (260,000 titik fasa), jalur pengukuran meliputi 200nm~15μm, kepekaan pengukuran mencapai 2nm, dan kebolehulangan pengukuran lebih baik daripada 1/1000λ ( RMS). Ia boleh digunakan untuk analisis kualiti pancaran laser, pengesanan medan aliran plasma, pengedaran medan aliran berkelajuan tinggi pengukuran masa nyata, penilaian kualiti imej sistem optik, pengukuran kontur mikroskopik dan pengimejan fasa kuantitatif sel biologi, dsb.
Penderia gangguan FIS4 tunggallaluan optik gangguan rasuk
Prinsip kerja penderia gangguan empat gelombang ialah muka gelombang yang akan dikesan dibiaskan oleh parut hibrid berkod rawak, dan empat lampu difraksi dijana dalam dua arah ortogon. Keempat-empat lampu difraksi ini mengganggu permukaan pengimejan, dan empat pinggir gangguan ricih sisi hadapan gelombang boleh diperolehi.
Kelebihan sensor gangguan empat gelombang: gangguan laluan optik tunggal mempunyai rintangan getaran yang sangat kuat, tiada cahaya rujukan diperlukan, susun atur mudah, tiada peranti gangguan khas diperlukan, pelarasan cepat dan mudah, pengimejan masa nyata adalah mungkin, tiada peralihan fasa proses diperlukan, dan ia amat sesuai untuk pengesanan ketepatan tinggi dalam persekitaran kilang.
