Resolusi ultra-tinggi 512×512 (262144) titik fasa, mencapai ukuran muka gelombang berketepatan tinggi dalam jalur 900nm hingga 1200nm, yang boleh digunakan untuk pengukuran penyimpangan sistem optik, penentukuran sistem optik, ukuran pengedaran kekisi dalaman bahan, permukaan meta, superlenspengukuran muka gelombang, dsb.
Penderia interferometer empat gelombang hampir inframerah FIS4-NIR menggabungkan teknologi pembelauan empat gelombang berkod rawak yang dipatenkan dengan kamera inframerah, dan mengganggu pada kedudukan satah imej belakang. Ia mempunyai keperluan rendah pada keselarasan sumber cahaya dan tidak memerlukan peralihan fasa. Sistem pengimejan biasa boleh mencapai pengukuran interferometrik. Ia mempunyai rintangan getaran ultra tinggi dan kestabilan ultra tinggi, dan boleh mencapai ukuran ketepatan peringkat nm tanpa pengasingan getaran.
Ciri-ciri utama
◆ Resolusi ultra tinggi 512×512 (262144) titik fasa
◆ Gangguan diri cahaya satu laluan, tiada lampu rujukan diperlukan
◆ Jalur spektrum luas 900nm~1200nm
◆ 2nm RMS resolusi fasa tinggi
◆ Julat dinamik yang besar sehingga 270μm
◆ Rintangan getaran yang sangat kuat, tidak memerlukan pengasingan getaran optik
◆ Pembinaan laluan optik yang mudah dan pantas seperti pengimejan
◆ Sokong rasuk bercantum dan rasuk menumpu NA yang besar
Aplikasi produk
Pengukuran penyimpangan sistem optik, penentukuran sistem optik, ukuran pengedaran kekisi dalaman bahan, permukaan meta, ukuran muka gelombang superlens.
