Dibangunkan khas untuk analisis gelombang hadapan dalam senario penyelidikan industri, pertahanan dan saintifik berkelajuan tinggi seperti tembakan terbang dan medan aliran, ia mempunyai resolusi ultra tinggi 420×420 (176400) titik fasa, tindak balas spektrum luas 400-1100nm, dan 107 bingkai pensampelan berkelajuan tinggi, menyediakan alat ukuran penderiaan muka gelombang yang ideal untuk pengesanan kekasaran permukaan wafer, pengukuran mikro-morfologi substrat berasaskan silikon dan kaca, optik aerodinamik, medan aliran berkelajuan tinggi, pengukuran ketumpatan plasma gas, dsb.
FIS4-HS berkelajuan ultra tinggisensor gangguan empat gelombangmenggabungkan teknologi pembelauan empat gelombang berkod rawak yang dipatenkan dengan kamera berkelajuan tinggi, dan mengganggu pada kedudukan satah imej belakang. Ia mempunyai keperluan rendah untuk koheren sumber cahaya dan tidak memerlukan peralihan fasa. Sistem pengimejan biasa boleh mencapai pengukuran gangguan. Ia mempunyai rintangan getaran ultra tinggi, kestabilan ultra tinggi, dan pengimejan berkelajuan ultra tinggi. Ia boleh mencapai ukuran ketepatan peringkat nm tanpa pengasingan getaran.
Ciri-ciri utama
◆ Resolusi ultra tinggi 420×420 (176400) titik fasa
◆ Kadar bingkai pensampelan sehingga 107fps
◆ Gangguan diri cahaya satu laluan, tiada lampu rujukan diperlukan
◆ Jalur spektrum lebar 400nm~1100nm
◆ 2nm RMS resolusi fasa tinggi
◆ Rintangan getaran yang sangat kuat, tidak memerlukan pengasingan getaran optik
◆ Pembinaan laluan optik yang mudah dan pantas seperti pengimejan
◆ Sokong rasuk berkolima, rasuk menumpu NA besar
Aplikasi produk
Pengesanan kekasaran permukaan wafer, berasaskan silikon, pengukuran mikro-morfologi substrat kaca, optik aerodinamik, medan aliran berkelajuan tinggi, pengukuran ketumpatan plasma gas.
