Di tengah-tengah sensor gelombang FIS4 UV terletak teknologi pengekodan rawak Bojiong yang rawak. Teknologi perintis ini membolehkan gangguan pada satah fokus belakang walaupun dengan koheren sumber cahaya yang minimum, dengan ketara mengurangkan kekangan pada koheren sumber cahaya dan berkesan menghapuskan keperluan untuk peralihan fasa. Bersepadu dengan sistem pengimejan ultraviolet maju, sensor gelombang UV FIS4 menawarkan keupayaan pengukuran gelombang masa nyata, mempamerkan rintangan getaran yang luar biasa dan keteguhan. Secara mengejutkan, ia mencapai ketepatan skala nanometer walaupun tanpa sistem pengasingan getaran. Keupayaan ini membuka kemungkinan baru untuk pengukuran ketepatan tinggi dalam persekitaran yang pelbagai dan menuntut. Optoelectronics Bojiong ditetapkan untuk merevolusikan pengukuran dan analisis prestasi optik, membimbing industri ke arah era ketepatan dan kecekapan yang belum pernah terjadi sebelumnya. Dengan menetapkan tanda aras baru untuk ketepatan dan kemudahan operasi, sensor Wavefront FIS4 memberi kuasa kepada penyelidik dan industri untuk mendorong sempadan inovasi optik.
|
Jenis sumber cahaya |
Laser berterusan, laser nadi, LED, lampu halogen, dan sumber cahaya jalur lebar lain |
|
Julat panjang gelombang |
200nm ~ 400nm |
|
Saiz sasaran |
13.3mm × 13.3mm |
|
Resolusi Spatial |
26 m m |
|
Resolusi output fasa |
512 × 512 |
|
Ketepatan mutlak |
10nmrms |
|
Resolusi fasa |
≤ 2nmrms |
|
Julat dinamik |
≥90μ m |
|
Kadar pensampelan |
32fps |
|
Kelajuan pemprosesan masa nyata |
5Hz (Pada resolusi penuh） |
|
Jenis antara muka |
USB3.0 |
|
Dimensi |
70mm × 46.5mm × 68.5mm |
|
Berat |
kira -kira 240g |
|
Kaedah penyejukan |
Tiada |
◆ Spektrum UV 200nm ~ 400nm band
◆ Resolusi fasa tinggi 2nm RMS
◆ 100% dibangunkan secara domestik
◆ Interferensi diri cahaya tunggal, tiada lampu rujukan diperlukan
◆ Rintangan getaran yang sangat kuat, tidak memerlukan pengasingan getaran optik
◆ Dengan reka bentuk penindasan pinggiran laser
◆ Sokongan rasuk collimated, rasuk yang tidak berkumpul NA tinggi
Sensor gelombang gelombang UV FIS4 ini digunakan untuk pengukuran penyimpangan sistem optik, penentukuran sistem optik, pengukuran bentuk permukaan rata (wafer), pengukuran bentuk permukaan sfera optik, dll.
|
Pengesanan Wavefront Laser Beam |
Respon Pengesanan Wavefront Mod Zernike Optik Adaptif |
|
Contoh pengukuran penyimpangan sistem optik
|
Contoh Pengukuran Penentukuran Sistem Optik
|
|
Contoh pengukuran kekasaran permukaan wafer
|
Pengukuran Morfologi Etching Mikro - Contoh Kekurangan 1 # -114 baris |
Sensor Wavefront Wavefront Bojiiong FIS4 telah dibangunkan oleh pasukan profesor dari Universiti Zhejiang dan Universiti Teknologi Nanyang, Singapura. Ia mempunyai resolusi ultra tinggi 512 × 512 (262144) titik fasa, dan boleh mencapai pengukuran gelombang depan yang tinggi dalam band 200nm hingga 400nm. Ia boleh digunakan untuk pengukuran penyimpangan sistem optik, penentukuran sistem optik, pengukuran permukaan satah (wafer), pengukuran permukaan sfera optik, dll.
FIS4 UV menggabungkan teknologi difraksi empat gelombang berkod rawak yang dipatenkan dengan kamera UV, dan mengganggu kedudukan pesawat imej belakang. Ia mempunyai keperluan yang rendah untuk koheren sumber cahaya dan tidak memerlukan peralihan fasa. Ia boleh mencapai pengukuran gelombang masa nyata dengan sistem pengimejan UV. Ia mempunyai rintangan getaran ultra tinggi dan kestabilan ultra tinggi, dan dapat mencapai pengukuran ketepatan peringkat NM tanpa pengasingan getaran.
Alamat
No. 578 Yingkou Road, Daerah Yangpu, Shanghai, China
Tel
E-mel
