Interferometer Planar Laser

Laser Planar Interferometer (LPI-100), dengan kelajuan pengukuran dinamik masa nyata sehingga 15 bingkai sesaat, mampu pengesanan masa nyata bentuk permukaan unsur optik planar dalam apertur 100mm. Rasuk yang membawa maklumat bentuk permukaan unsur yang diukur dibiaskan melalui jeriji yang dikodkan khas, yang menggunting muka gelombang secara sisi kepada empat bahagian, membentuk corak gangguan dua dimensi ricih laluan biasa dengan empat muka gelombang. Dengan menyahmodulasi gangguan dua dimensi, maklumat bentuk permukaan unsur boleh diperolehi.

Spesifikasi Item:

Ciri-ciri Interferometer Planar Laser BOJIONG

◆Sehingga 15 bingkai pengukuran dinamik masa nyata

◆2nm RMS Resolusi fasa tinggi

◆Leraian super tinggi 262144 mata fasa

◆Boleh merealisasikan pengesanan dinamik masa nyata, boleh mencapai pengesanan dinamik 15 bingkai/saat

◆Dengan hak harta intelek bebas, kos efektif, pelarasan mudah, struktur padat

◆Berdasarkan prinsip gangguan diri saluran biasa, peralatan tidak memerlukan cermin rujukan, dan mempunyai keupayaan Gangguan rintangan yang kuat, dalam persekitaran kilang biasa juga boleh mencapai pengesanan tepat permukaan rata

Penggunaan Interferometer Planar Laser BOJIONG

BOJIONGLaser Planar Interferometer ini dilengkapi dengan penderia interferometrik empat gelombang FIS4 untuk mengesan bentuk cermin satah standard, dan perisian pemprosesan mengeluarkan nilai PV, nilai RMS dan nilai POWER permukaan komponen yang diuji.

BOJIONG Laser Planar Interferometer Butiran

BOJIONG Planar Four-wave Dynamic Interferometer gambar rajah susun atur keseluruhan

Modul fungsian BOJIONG Laser Planar Interferometer boleh dibahagikan kepada modul sumber cahaya pencahayaan, modul pengembangan rasuk sekunder, modul pembawa, modul fokus titik untuk membantu pelarasan sikap sampel dan modul sensor interferometrik untuk pengesanan bentuk permukaan sampel .

Modul sumber cahaya sistem menggunakan laser gas helium neon dengan panjang gelombang pusat 632.8nm.

Modul pengembangan rasuk sekunder mengembangkan saiz rasuk kepada 100mm, memenuhi keperluan untuk pengesanan diameter besar.

Bahagian pentas digunakan untuk meletakkan komponen optik planar yang akan diuji, seperti kristal rata, wafer lontaran tunggal, cip tingkap, pemantul satah, dll. Peringkat pemuatan dilengkapi dengan roda tangan bergerak arah X dan Y untuk mengawal pergerakan sampel peringkat, supaya titik cahaya yang dipancarkan peralatan menutup sepenuhnya permukaan sampel ujian. Pada masa yang sama, dua tombol juga dipasang di atas pentas untuk melaraskan postur kecondongan sampel. Dengan melaraskan tombol ini, satah ujian dibuat berserenjang dengan paksi optik.

Sistem pengimejan mempunyai sistem dwi kamera. Salah satunya menggunakan kamera pengimejan optik untuk membentuk modul pemfokusan tempat untuk membantu dalam pelarasan postur sampel. Dengan memerhatikan kedudukan tempat kembali sampel dalam masa nyata, postur sampel dilaraskan untuk memastikan ketepatan pengukuran. Laluan lain dilengkapi dengan sensor interferometrik empat gelombang FIS4, membentuk modul sensor interferometrik untuk pengesanan bentuk permukaan sampel. Dengan merekodkan pinggir interferometrik laluan biasa, maklum balas masa nyata maklumat tiga dimensi pada permukaan sampel ujian boleh dicapai. Sistem dwi kamera boleh berfungsi serentak.

Modul perisian profesional

◆Dilengkapi dengan perisian "Laser Planar Interferometer", ia boleh memaparkan dan mengeluarkan imej 3D masa nyata bagi satah elemen optik yang diukur, nilai PV keluaran, nilai RMS dan nilai POWER permukaan yang diukur.

◆Pada masa yang sama, perisian ini menyokong pengeksportan data mentah hasil pengukuran, menyediakan sokongan data pengesanan kuantitatif untuk pelbagai kajian, dan memudahkan pengguna menjalankan analisis dan penyelidikan data pada masa hadapan.