Interferometer Dinamik Empat Gelombang Menegak LPI-100, yang mampu melakukan pengukuran dinamik masa nyata pada kadar sehingga 15 bingkai sesaat, memperoleh maklumat bentuk permukaan unsur optik satah dengan tepat dalam apertur 100mm melalui ricih laluan sepunya empat gelombang teknologi dan penyahmodulatan corak gangguan. Interferometer adalah mesra pengguna, cepat digunakan, boleh dipercayai dalam operasi dan sangat tepat dalam pengukuran. Ia menyediakan sokongan data yang boleh dipercayai untuk syarikat pemprosesan optik, institusi akademik, jabatan metrologi, penyelidik dalam organisasi saintifik, dan profesional menulis kertas saintifik, menjadikannya alat yang tidak ternilai dalam kerja mereka.
Nama Produk |
Interferometer Dinamik Empat Gelombang Menegak |
Diameter pemeriksaan (mm) |
100*100 |
Piksel CCD |
2048*2048 |
Titik persampelan |
512*512 |
Panjang gelombang (nm) |
632.8 |
Julat dinamik (μm) |
100 |
Nilai PV ketepatan pengukuran |
±15nm |
Nilai RMS ketepatan (λ) |
≤1/30 min |
Kebolehulangan Pengukuran RMS (λ) |
≤1/1000l |
Resolusi ukuran (nm) |
2 |
Paparan masa nyata Kadar bingkai (Hz) |
10 |
Peletakan rawak sensor |
Pelayan pemprosesan imej |
Dilengkapi dengan perisian pemprosesan |
"Perisian pembinaan semula hadapan Gelombang ricih Empat Gelombang" boleh memaparkan hadapan gelombang keluaran dalam masa nyata: Nilai PV, nilai RMS, nilai POWER |
Berat mesin (KG) |
50 |
◆Sehingga 15 bingkai pengukuran dinamik masa nyata
◆2nm RMS Resolusi fasa tinggi
◆Leraian super tinggi 262144 mata fasa
◆Berdasarkan prinsip gangguan diri saluran biasa, peralatan tidak memerlukan cermin rujukan, dan mempunyai keupayaan Gangguan rintangan yang kuat, dalam persekitaran kilang biasa juga boleh mencapai pengesanan tepat permukaan rata
◆Boleh merealisasikan pengesanan dinamik masa nyata, boleh mencapai pengesanan dinamik 15 bingkai/saat
◆Dengan hak harta intelek bebas, kos efektif, pelarasan mudah, struktur padat
Interferometer Dinamik Empat Gelombang Menegak BOJIONG dilengkapi dengan penderia interferometrik empat gelombang FIS4, peranti ini mampu mengesan bentuk cermin satah standard dengan tepat. Sistem pemprosesan perisian yang disertakan mengeluarkan nilai PV , RMS dan POWER permukaan komponen yang diuji.
Keputusan pemeriksaan permukaan cermin rata standard |
Gelombang gangguan unsur optik
|
Pengesanan hadapan gelombang penghantaran bagi komponen nilam |
Interferometer Dinamik Empat Gelombang Menegak BOJIONG terdiri daripada beberapa modul berfungsi utama, termasuk modul sumber cahaya pencahayaan, modul pengembangan rasuk sekunder, modul pembawa, modul pemfokusan titik untuk penjajaran sampel dan modul sensor interferometrik untuk mengesan permukaan bentuk sampel.
Modul sumber cahaya sistem menggunakan laser gas helium-neon dengan panjang gelombang pusat 632.8 nm, memberikan sumber cahaya yang tepat dan stabil untuk interferometer.
Modul pengembangan rasuk sekunder direka bentuk untuk meningkatkan diameter rasuk kepada 100 mm, memastikan keserasian dengan komponen optik berdiameter besar yang memerlukan pemeriksaan.
Bahagian pentas berfungsi sebagai platform untuk meletakkan pelbagai komponen optik planar di bawah ujian, seperti kristal rata, wafer lontaran tunggal, cip tingkap, dan pemantul satah. Pentas dilengkapi dengan roda tangan paksi X dan Y untuk kawalan tepat kedudukan sampel, memastikan titik cahaya yang dipancarkan oleh peralatan menutup sepenuhnya permukaan sampel ujian. Selain itu, dua tombol pelarasan disepadukan ke dalam pentas untuk memperhalusi kecondongan sampel, menjajarkan satah ujian berserenjang dengan paksi optik.
Sistem pengimejan menampilkan persediaan dwi-kamera. Satu kamera ialah kamera pengimejan optik yang membentuk modul pemfokusan tempat, membantu dalam penjajaran sampel. Dengan memerhatikan kedudukan masa nyata tempat kembali sampel, sampel boleh dilaraskan untuk memastikan ketepatan pengukuran. Laluan kamera yang lain dilengkapi dengan sensor interferometrik empat gelombang FIS4, yang membentuk modul sensor interferometrik untuk mengesan bentuk permukaan sampel. Dengan menangkap pinggir interferometrik laluan biasa, ia menyediakan maklum balas masa nyata tiga dimensi pada topografi permukaan sampel ujian. Sistem dwi-kamera mampu beroperasi secara serentak, meningkatkan kecekapan dan ketepatan proses pengukuran.
◆Peranti ini dilengkapi dengan perisian khusus yang direka untuk "Interferometer Dinamik Empat Gelombang Menegak", yang boleh memaparkan dan mengeluarkan imej 3D masa nyata permukaan elemen optik yang diukur, serta memberikan nilai PV, RMS dan POWER untuk permukaan yang diukur.
◆Selain itu, perisian ini mempunyai keupayaan untuk mengeksport data ukuran mentah, menawarkan sokongan analisis kuantitatif yang penting untuk pelbagai usaha penyelidikan, dan membolehkan pengguna menjalankan analisis data dan kerja penyelidikan seterusnya dengan mudah.
Alamat
No. 578 Yingkou Road, Daerah Yangpu, Shanghai, China
Tel
E-mel